Ontwerp van ultra-lichtgewicht SIC-scanspiegelassemblage

Terugstructuur van de ultra-lichtgewicht scanspiegel

Het spiegellichaam was gemaakt van siliciumcarbide en de ondersteunende structuur was gemaakt van indiumstaal. De ondersteuningsstijfheid en oppervlakte -nauwkeurigheid van de scanspiegelassemblage worden gesimuleerd en geanalyseerd door eindige elementenanalyse en geverifieerd door daadwerkelijke testen.

Eindig elementmodel van de scanspiegelassemblage

De resultaten laten zien dat de maximale rootgemiddelde vierkant (RMS) -waarde van de scanningspiegelvormfout 9.705 nm is, het werkelijke testresultaat 10.125 nm, de fout is 4% en voldoet aan de eis dat de RMS -waarde minder dan 12,6 nm moet zijn dan 12,6 nm in Het geval van zwaartekracht in alle richtingen en het koppel van de as aangedreven.

Testresultaat voor de oppervlakte -nauwkeurigheid

De natuurlijke frequentie van de component van de eerste orde was 302,25Hz, wat voldeed aan de stijfheidseisen. De resultaten tonen aan dat de voorgestelde methode redelijk en effectief is, wat het probleem oplost dat de structuur van de ultralichtgewicht en de structurele stijfheid en optische oppervlakte-nauwkeurigheid in één keer moeilijk te garanderen zijn.

Scanspiegelassemblage

Gebaseerd op het principe van kegel-mouw en flexibel scharnier, wordt een scanspiegelassemblage met geïntegreerde rugondersteuning voorgesteld. De belangrijkste parameters van de flexibele link worden bepaald door numerieke simulatie en iteratieve berekening, die technische referentie biedt voor parameteroptimalisatie van de flexibele ondersteuningsstructuur.