Fabricage van 720 mm SIC -asferische spiegel

3. Polijsten: ruw polijsten verbetert de oppervlakteruwheid en de oppervlakte -nauwkeurigheid van de grotere asperische spiegels van de hogere opening verder. CNC kleine slijpkoppen worden nog steeds gebruikt voor ruw polijsten, en de laatste fase MRF-magnetorheologische afwerking is ook betrokken. Na ruw polijsten komt het spiegeloppervlak de interferentie -metrologiestadium binnen en kan het de SI -coatingstadium betreden nadat de RMS -waarde van de oppervlakte -nauwkeurigheid beter is dan 1/10 λ.

4.SI-coating: het spiegelblanco materiaal van een grote apertuur SIC-asferische spiegel maakt vaak gebruik van reactie-gesinterd SiC-materiaal, dat iets lagere dichtheid heeft in vergelijking met druk-gesinterd SiC-materiaal. Om de reflectiviteit van de SIC -asferische spiegel van de grotere diafragma te verbeteren, wordt een laag SI op het spiegeloppervlak uitgeplaat om de oppervlaktedichtheid te verbeteren.

5. Fine polijsten: na aanpassing komt de grotere apererische spiegel in het fijne polijststadium in. CNC kleine slijpkoppen, polijsten van stressronde en MRF-magnetorheologische afwerking worden vaak gebruikt in de beginfase van fijn polijsten om de relatief losse laag op het gemodificeerde oppervlak te verwijderen. Later worden CNC kleine slijpkoppen, samen met ionenbundeluitreiking, gebruikt om de oppervlaknauwkeurigheid te verfijnen tot de ontwerpvereisten. Momenteel kan de oppervlakte-nauwkeurigheid van grotere apertuur-asferische spiegels worden verwerkt tot een RMS-waarde van een volledige diameter beter dan 1/60 λ of zelfs beter.

Na enkele jaren van technische accumulatie kan MG-Optics momenteel het hele proces van SIC-asferische spiegel met grote scherken ontwikkelen. Een set van een diameter van 720 mm met een groot aantal siC-asferische spiegel is voltooid met een uiteindelijke oppervlaknauwkeurigheid volledige Diameter RMS-waarde beter dan 1/60 λ.