Metaal asferische spiegelverwerkingstechnologie

Metalen spiegels kunnen volledig lichtgewicht zijn ontworpen en optisch-mechanische integratie-installatie en aanpassing kunnen worden ontworpen om de structuur van de achterste ondersteuning van de spiegel te vereenvoudigen.

Metaalmaterialen worden over het algemeen verkregen door gieten. Metaalmaterialen hebben een goede thermische geleidbaarheid, relatief grote expansiecoëfficiënt en worden gemakkelijk beïnvloed door temperatuur. Metaalmaterialen hebben echter de voordelen van goede verwerkingstechnologie en korte inkooptijd. Gewoonlijk gebruiken we in het optische systeem aluminium asferische spiegel en ni-P legerings asferische spiegel.

De belangrijkste punten van verwerkingstechnologie ：

1. Single-Point Diamond Turning is een onmisbaar en belangrijk proces voor metalen spiegelverwerking. Ultra-precisie Turning Technology (STDP-technologie) maakt gebruik van diamantdraaihulpmiddelen om deterministisch materiaalverwijdering uit te voeren op roterende metalen spiegels. Na het draaien kan de oppervlaknauwkeurigheid beter worden bereikt dan λ/10 (λ = 632.8nm) en kan de oppervlakteruwheid beter zijn dan 2 Nm. Zoals de onderstaande afbeelding te zien is.

2. Hoewel de metalen spiegel na het draaien een betere oppervlakte -nauwkeurigheid en ruwheid kan verkrijgen vanwege het principe van draaien, zijn er draaigereedschapsporen op het oppervlak van de metalen spiegel, zelfs als deze onzichtbaar is voor het blote oog, zal het veroorzaken Bepaalde schade aan het optische systeem. Daarom moet het oppervlak na het draaien worden gepolijst. Sommige metalen spiegels zullen gecoate lagen op hun oppervlakken zijn (zoals be-al legeringspiegels, binnenlandse 6061-spiegels , enz.) En vervolgens polijsten na coating. Zoals het onderstaande proces wordt weergegeven.

3. De hardheid van metaalspiegels is relatief laag en krassen zijn gemakkelijk op het oppervlak tijdens het polijstproces, die ook oppervlakte -oxidatie kunnen versnellen. Het is moeilijk om een ​​goed spiegeloppervlak te bereiken en een veel voorkomende oplossing is om metaalcoating op het oppervlak te doen. Het verschil in thermische expansiecoëfficiënt tussen het spiegelsubstraat en de gemodificeerde laag moet in aanmerking worden genomen om het bimetallische effect te voorkomen (na coating verandert de spiegeloppervlaknauwkeurigheid met temperatuur). Het veelgebruikte metalen spiegeloppervlakcoatingproces is de Ni-P-laag die een uniforme dichtheid en hoge hardheid heeft. Na polijsten kunnen de nauwkeurigheid en ruwheid van de zeer nauwkeurige oppervlaktebedrijven worden bereikt.

4. Nadat een puntdiamant van één punt van de metalen spiegel is, zijn de oppervlaknauwkeurigheid en ruwheid relatief hoog en kan deze direct in het interferometrische testfase komen. Volgens het ontwerp van het optische pad van het testen, zijn de laserinterferometer, door de computer gegenereerde hologram (CGH) en het aanpassingsframe gerangschikt voor interferometrische tests. Nadat de oppervlakte -nauwkeurigheid voldoet aan de vereisten (bijvoorbeeld λ1/50, λ = 632,8 nm), kan de spiegel worden gecoat en geleverd.